Werkzeug- und Prozessentwicklung des Roll-to-Roll-Hochdurchsatzverfahrens zur kontinuierlichen, großflächigen Mikrostrukturierung

Die vorliegende Arbeit beschreibt den Aufbau einer Roll-to-Roll (R2R)-Anlage und die Entwicklung eines spezifischen Mikrostrukturierungsprozesses für eine Vielzahl verschiedener Materialien von Hochleistungspolymeren über niedrigschmelzende Metalle bis hin zu Glas-Nanokompositmaterial und thermoplastischen Vliesstoffen einschließlich einer auf Lithographie und Galvanik basierenden teilautomatisierten Werkzeugfertigung für die nahtlose R2R-Mikroreplikation. This work describes the set-up of a rol ...