
Das vorliegende Buch dokumentiert umfassende experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Injektionsabh¿igkeit von Photo¿strom-Messungen. Die Injektionsabh¿igkeit der Ladungstr¿r¿le¿bens¿dauer von Eisen-kontaminierten bordotierten Siliciumproben wurde mit dem konventionellen Elymat-Verfahren experimentell ermit¿telt und durch zweidimensionale Simulationen verifiziert. Die dabei gewonnenen Ergebnisse sind von grundlegender Bedeutung f¿r die ebenfalls erfolgte Charakterisierung von Isolator/ ...
DETAILS
Photostrom-Spektroskopie von Silicium
Charakterisierung von Eisen kontaminiertem Silicium und Isolator/Silicium-Strukturen mit dem Elymat-Verfahren
Rommel, Mathias
Kartoniert, 232 S.
Sprache: Deutsch
220 mm
ISBN-13: 978-3-8364-9088-7
Titelnr.: 43706675
Gewicht: 362 g
VDM Verlag Dr. Müller (2008)
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