Richter, Ernst-ChristianDiffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist SystemDissertationsschrift
Kartoniert, 2., unveränderte Auflage (Erstauflage 2000), Utz Verlag (2022)
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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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Reihe:
Physikalische ChemieDETAILS
Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
Dissertationsschrift
Richter, Ernst-Christian
Kartoniert, 88 S.
72 SW-Abb., 2 Tabellen
Sprache: Deutsch
205 mm
ISBN-13: 978-3-8316-8635-3
Titelnr.: 96021132
Gewicht: 140 g
Utz Verlag (2022)
Herstelleradresse
UtzVerlag
Nymphenburger Straße 91
80636 - DE München
E-Mail: info@utzverlag.de
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