
- Waldbaur, Ansgar
Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
- Dissertationsschrift
- Kartoniert,
- KIT Scientific Publishing
- (2013)
In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm² große Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm² Fläche mit wenige µm großen Pixeln erzeugt.< ...
DETAILS
- Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
- Dissertationsschrift
- Waldbaur, Ansgar
- Kartoniert, XVI, 163 S.
- graph. Darst.
- Sprache: Deutsch
- 21 cm
- ISBN-13: 978-3-7315-0119-0
- Titelnr.: 43861757
- Gewicht: 312 g
- KIT Scientific Publishing (2013)
Herstelleradresse
KIT Scientific Publishing
Strasse am Forum 2
76131 - DE Karlsruhe
E-Mail: info@ksp.kit.edu